工業混合氣體
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高純氣體

2022-08-04
高純氣體
詳細介紹:

高純氣體

高純氣體通常指用提純技術能達到的等級純度的氣體。

高純氣體分為有機高純氣體和無機高純氣體。常用的高純氣體包括高純氮、高純氦、高純氬、高純氫、高純氧、高純二氧化碳、高純甲烷、高純一氧化碳、高純乙炔等。

高純氣體技術參數

氣體名稱

化學式

規格(%)

雜質(??)

高純氦

He

99.999%

O2≤1 CH4≤1 CO2≤0.5 Ne≤4 H2≤1 CO≤0.5 H2O≤3

高純氬氣 

Ar

99.999%

O2≤2 THC≤2 N2≤5 H2≤1 H2O≤4

高純氫氣

H2

99.999%

O2≤1 CO2≤1 N2≤5 CH4≤1 CO≤3 H2O≤1

高純氮氣 

N2

99.999%

O2≤1 H2O≤2 H2≤1 THC≤3

高純二氧化碳

CO2

99.999%

O2≤1 H2O≤2 N2≤5 CO≤1 THC≤1


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